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MKS流量計
名稱:  MKS流量計
型號:  P
品牌:  MKS
產(chǎn)地:  美國
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發(fā)布時間:  2024-04-01
瀏覽次數(shù):  462
產(chǎn)品詳情

美國MKS成立于1961,MKS是全球最著名的先進生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一,其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導體器件、平板顯示器、太陽能電池、LED、光學儲存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學成像設(shè)備。MKS前瞻性的創(chuàng)新開發(fā),推動其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。MKS的電源、測量、控制和復雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù),改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率,提高了產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司現(xiàn)貨供應(yīng)MKS,MKS流量計,美國MKS流量計等全系列產(chǎn)品,低價采購,保質(zhì)保量,價格優(yōu)惠!MKS產(chǎn)品一站式采購,型號齊全,一件起訂,歡迎選購!

1、美國MKS流量計P系列產(chǎn)品介紹
美國MKS流量計P系列高性能多氣體、多量程熱式質(zhì)量流量計專為要求準確性、可重復性的最關(guān)鍵過程應(yīng)用而設(shè)計。P4B是一款1.125英寸機身、多氣體/多范圍、金屬密封質(zhì)量流量計(MFM)。P4B流量計采用了最新的數(shù)字流量計電子設(shè)備以及久經(jīng)考驗的專利熱傳感器和機械設(shè)計。數(shù)字電子器件采用最新的MKS算法,提供多氣體/多范圍測量功能。其中包括數(shù)字校準,可產(chǎn)生1%的校準氣體讀數(shù)精度。嚴格控制工藝氣體的流量精度,以改善腔室工藝匹配,嵌入式配置和診斷軟件允許用戶檢查MFM功能,而無需從工具中移除設(shè)備。

2、美國MKS流量計P系列產(chǎn)品規(guī)格
①滿量程流量范圍5-50000標準立方厘米
②測量范圍滿量程的0.1-100%(機械范圍)
③最大入口壓力500磅/平方英寸
④2-20%滿量程時為滿量程的±0.2%
⑤零溫度系數(shù)<滿量程的0.05%
⑥跨度溫度系數(shù)<讀數(shù)的0.08%
⑦入口壓力系數(shù)<讀數(shù)的0.02%
⑧熱身時間<30分鐘(穩(wěn)態(tài)性能滿量程的0.2%以內(nèi))
⑨美國MKS流量計P系列工作溫度10-50℃
⑩儲存濕度0-95%相對濕度,無冷凝
?儲存溫度-20°至80°C(-4°至149°F)
?美國MKS流量計P系列重量<2.5磅(1.1千克)
美國MKS流量計P系列
3、美國MKS流量計P系列產(chǎn)品特征
①所需輸入功率:根據(jù)DeviceNet規(guī)范+11至+25 VDC
②小字符噴碼機:5針微小字符噴碼機(DeviceNet)
③數(shù)據(jù)速率開關(guān)/選擇:4個位置:125、250、500K(默認)、PGM(可通過網(wǎng)絡(luò)編程)
④數(shù)據(jù)速率/網(wǎng)絡(luò)長度:數(shù)據(jù)速率(用戶可選)125 Kbps,500米(1,640英尺)
⑤MAC ID開關(guān)/地址:2個開關(guān),10個位置;0,0到6,3是硬件ID號7,0到9,9是軟件ID號
⑥美國MKS流量計P系列網(wǎng)絡(luò)規(guī)模:最多64個節(jié)點
⑦網(wǎng)絡(luò)拓撲結(jié)構(gòu):同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性(干線/支線)電源和信號

4、美國MKS流量計P系列產(chǎn)品特性
①嚴格控制的工藝氣體流量精度可改善處理室工藝匹配
②寬動態(tài)范圍內(nèi)的精確流量測量(即使在量程較低時)減少了對額外低量程MFM的需求
③嵌入式配置和診斷軟件,允許用戶無需從工具中移除設(shè)備即可檢查MFM功能
④美國MKS流量計P系列使用標準網(wǎng)絡(luò)瀏覽器;不需要特殊軟件

5、美國MKS流量計P系列產(chǎn)品優(yōu)勢
美國MKS流量計P系列通過其多氣體/多范圍功能減少MFM庫存,多氣體/多范圍功能以及嚴格的精度性能規(guī)格,使用戶能夠最大限度地減少高流量MFM零件號的庫存。多氣體/多范圍功能(以及其他自定義控制)可通過MFM嵌入式診斷接口訪問,無需特殊軟件或硬件即可操作。標準以太網(wǎng)電纜和廣泛使用的支持JAVA的HTML瀏覽器就是所需的全部工具。典型高流速氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲在設(shè)備上。配置設(shè)備只需從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍即可。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運行狀況檢查、繪制流程并存儲操作數(shù)據(jù)以進行離線分析。通過其明亮的自動定向LED顯示屏,輕松查看流速、氣體類型和滿量程流量。

6、美國MKS流量計P系列產(chǎn)品配置選項
①美國MKS流量計P系列P4B質(zhì)量流量計P4B
②氣體(按照半標準E52-0703)
③美國MKS流量計P系列氮氣(N 2)SEK 13.00
④美國MKS流量計P系列氨(NH 3)SEK 29.00
⑤六氟化硫(SF 6)SEK 110.00
⑥美國MKS流量計P系列流量范圍滿量程
⑦5標準立方厘米SEK 500.00
⑧10標準立方厘米SEK 101.00
⑨20標準立方厘米SEK 201.00
⑩50標準立方厘米SEK 501.00
?100標準立方厘米SEK 102.00

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