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1、美國MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)介紹
MKS模塊化真空傳感器尺寸緊湊，可大幅降低安裝成本。這些真空/壓力表非常適合控制器尺寸和本地控制至關重要的應用。它們可用作具有模擬輸出的壓力傳感器，或具有用于傳輸壓力信號的數字通信的真空模塊。901 Plus(901P)負載鎖定傳感器(LLT)專為負載鎖定環(huán)境而設計，結合了Piezo和Micro Pirani™真空傳感器技術。與傳統(tǒng)熱導率計相比，組合輸出可提供顯著更高的精度、穩(wěn)定性、可重復性和更快的響應時間。
2、美國MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)特點
①絕對壓力測量范圍為1,000至10-5 Torr
②單個傳感器具有3個傳感器功能，測量范圍廣
③模擬、RS232、RS485和EtherCAT®版本
④可選的集成觸摸屏顯示器可用于本地壓力指示
⑤快速、準確且可重復的壓力測量縮短了過程周期時間
⑥三個可選設定點具有快速響應時間，可實現可靠的過程控制
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3、美國MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)規(guī)格
①絕對測量范圍：1.0 x 10-5至1500托
②差分測量范圍：-760至+760托
③數字通訊：RS485/RS232（4800至230400波特率）
④傳感器：MicroPirani™（MEMS熱導率）壓電微分（MEMS隔膜）
⑤繼電器：3個繼電器SPDT（可選）
⑥工作溫度：0°至40°C（32°至104°F）
⑦最高烘烤溫度：85°C(185°F)，非工作狀態(tài)
⑧模擬輸出：絕對壓力：1至9 VDC、1 VDC/十倍頻、100Ω最大輸出阻抗（16位）
⑨可選模擬：輸出2壓電差分：5 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍頻（12位）
⑩繼電器hlo-trade觸點額定值：1 A 3 0VAC/DC，電阻
?壓電微分重復性：-760至+10 Torr±1%讀數
?壓電差動零穩(wěn)定性：滿量程的±0.1%（滿量程=760 Torr）
?超壓限制：1500托（絕對）
?內部容積：(KF16)2.8 cc
4、美國MKS真空壓力傳感器901 PLUS(901P)特征
（1）絕對壓力和差壓測量
901P結合了絕壓和差壓測量技術，提供卓越的性能和功能。901P提供獲得專利的、獨立于氣體的絕對壓力測量（50-1000 Torr），并且比熱導率傳感器具有更高的精度。
（2）MicroPirani™傳感器技術
與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計不同，MicroPirani™中的傳感器元件由一毫米見方的硅芯片制成，允許在非常小的體積內進行測量。由于采用了MicroPirani™技術，901P可以讀取低至10-5 Torr的壓力，比標準皮拉尼傳感器低二十個百分點。傳感器設計最大限度地減少了對流的影響，因此901P可以以任何方向安裝，而不會影響精度。
（3）壓電差分傳感器技術
Piezo是一款差壓傳感器，可確保在不同的氣壓條件下正確測量氣壓。壓電技術是一種直接壓力讀數，允許測量獨立于氣體。壓電傳感器測量相對于大氣壓力的范圍為-760至+760 Torr。
（4）模擬壓力輸出
901P還具有每十倍頻1VDC的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設備以進行壓力讀數或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數字用戶界面選擇。輔助可選模擬輸出用于提供壓差測量。
（5）三個過程控制繼電器
901P具有多達三個機械繼電器，可用于過程控制，例如聯鎖隔離閥和真空泵。每個設定點均可分配給差分壓電測量或組合絕對MicroPirani™-壓電測量。
（6）緊湊型設計
這些真空傳感器的緊湊設計顯著減少了真空計占用的空間。這對于系統(tǒng)設計者來說特別有吸引力，并且可以實現更緊湊的真空系統(tǒng)。
（7）可選集成觸摸屏顯示器
可選的集成觸摸屏顯示器可供用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并可以訪問設定點參數以及氣體類型。顯示屏還指示可用設定點繼電器的狀態(tài)。從5米外的高對比度顯示屏上即可看到單個傳感器顯示的壓力讀數或組合讀數。
（8）PDR900電源和顯示器
PDR900電源和讀數裝置是一款獨立的單通道控制器，可與900系列數字真空傳感器配合使用。它可以用作獨立的電源讀出單元，也可以用作OEM應用中系統(tǒng)集成傳感器的配置、校準和診斷工具。
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